Marangoni干燥

1）：	适用于多种规格晶片的干燥；
2）：	独立的控制系统，可单独使用，也可整个模组兼容到自动清洗机上使用；
3）：	无机械运动机构，防止运行时晶圆破损；
4）：	最小的活动部件提供更高的系统可靠性，降低设备维护费用；
5）：	使用专有基板支架有效干燥接触点消除晶片的表面水痕；
6）：	配备静电消除装置：将带电离子吹向甩干桶内以中和桶内静电离子。