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DSP后清洗机

DSP后清洗机

1）： 适用于12”Cassette Less硅片清洗
2）： 药液循环过滤，增强了清洗效果
3）： 全自动控制，可选自动配液、补液系统
4）： 用于批式晶圆湿法清洗、刻蚀、光刻胶去除等工艺
5）： 触摸屏+PLC控制方式；
南轩（天津）科技有限公司

联系人：马 宁
邮箱：nanxuanluck@163.com
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