全自动CP后清洗机

1）：	适用于多种规格硅片的腐蚀清洗，同一台设备可编制多套运行软件
2）：	根据工艺需求，槽体可匹配超声、滚动、旋转、循环、过滤等功能
3）：	全自动控制，可选择自动配补液，保证了操作的安全稳定性
4）：	高速移裁机械手，伺服驱动控制，保证运行平稳，定位可靠
5）：	机械手直接夹取PFA卡塞，更好的满足客户的需求
6）：	采用国际知名电气元件