| 12寸边缘刻蚀机
| 1）： |
适用于6-12”硅片的去边处理；
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| 2）： |
去边规格0.4-1.5mm,去边精度±0.1mm，特殊规格支持定制；
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| 3）： |
设备包含FOUP LoadPort,Pre-Aligner,WTR机械手,机械模组，Buffer位，刻蚀槽，水洗槽，甩干位，储酸槽；
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| 4）： |
FOUP LoadPort各部分均可以独立操作；
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| 5）： |
具有两套硅片上料线，上料WTR将硅片搬运至Pre-Aligner中定心并寻参；
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| 6）： |
用真空吸盘吸附的方式进行硅片的搬运；
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| 7）： |
下料WTR取走放入到下载FOUP指定Slot中；
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| 8）： |
采用国际知名的电气元件。
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