SIC去蜡清洗机

1）：	适用SIC衬底片的去蜡清洗，可兼容4寸、6寸、8寸规格
2）：	采用独立工位伺服机械手、运行过程可监控；
3）：	无机械运动机构，防止运行时晶圆破损；
4）：	人性化的操作界面，采用先进的触摸屏终端显示，智能化记忆控制，有效提高工作效率
5）：	根据工艺需求，槽体可匹配超声、抖动、旋转、循环和过滤等功能；
6）：	配酸碱隔断门、FFU保证设备运行环境
7）：	可满足客户多种工艺及产能的定制化需求。