SIC切割后清洗机

1）：	拥有多种规格型号，适用于不同尺寸SIC晶圆的清洗；
2）：	适用于4寸丶、6寸、8寸等多规格SIC衬底片的刻蚀清洗
3）：	全自动控制，机械手传递片篮，采用工控机+触摸屏控制方式，电器件均采用进口品牌
4）：	自动供/补液，配超声波、溢流循环。在线加热等功能
5）：	湿法上料，干法下料，配热N2烘干槽
6）：	配酸碱隔断门、FFU保证设备运行环境